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[微加工实验室系列学术报告] 氦/氖离子束纳米加工方法:原理、仪器及应用
时间: 2018年01月12日 10:00
地点: 物理所M楼253会议室
报告人: 尉东光? 博士

卡尔蔡司美国公司离子显微技术研发中心

报告人简介
尉东光,物理化学专业博士(1996),卡尔蔡司美国公司离子显微技术研发中心高级研究员。曾工作于中科院山西煤化所,中科院高技术研究与发展局,美国匹茨堡大学,新泽西理工学院和哈佛大学等大学与研究机构。2006年初进入卡尔蔡司美国公司,历任透射电镜产品经理,(北美)应用技术部主任,现为离子显微技术研发中心高级研究员, 从事场离子显微镜方面的研究。已发表学术论文近50篇,其中近10篇发表于Cell, Nature Materials, Nano Letters, Small, Advanced Materials, ACS-Nano等有影响的学术期刊。

报告摘要
最近几年,以气相场离子源(GFIS)为基础的高亮度(>109 A/cm2.sr),小束斑(<0.5nm)的氦/氖离子束技术得到了长足的发展,并在微纳加工领域得到重要应用,特别是在亚10纳米尺度上的表征及加工能力上表现出其它离子束技术无法相比的优越性,使其在纳米材料及纳米器件的加工及表征领域引起广泛重视。
本报告将简要介绍气相场离子源技术的原理和氦/氖离子束的产生机制、特征及相关仪器,并对目前氦/氖离子束技术在微纳加工领域的重要应用成果做较为详细的介绍。其中着重介绍在亚10纳米尺度下材料和器件的直接加工技术,基于氦/氖离子束的离子束曝光技术,氦/氖离子束对材料的辐照损伤,非导电、磁性及生物等材料的高分辨率成像表征,以及通过离子束辐照/注入对材料/器件的结构和性能进行改性等新的应用方向和领域。本报告将为感兴趣的研究人员了解这项新兴的纳米加工技术提供基本原理机制和典型应用实例,以期在纳米前沿领域研究中得到重要应用。

邀请人:李俊杰(电话:9097)


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