一种薄膜沉积系统及控制方法
专利名称:
一种薄膜沉积系统及控制方法
英文名称:
专利号:
专利类别:
发明
专利证书号:
申请号:
2018100773934
第一发明人:
袁洁
其它发明人:
何格;张旭;魏忠旭;金魁
申请日期:
专利授权日期:
2021-12-10
国外申请日期:
国外申请方式:
缴费情况:
实施情况:
专利摘要:
其它备注: