去除晶圆表面汞残留处理装置
专利名称:
去除晶圆表面汞残留处理装置
英文名称:
专利号:
专利类别:
实用新型
专利证书号:
申请号:
2020211525466
第一发明人:
黄敏
其它发明人:
陈蛟;杨军伟;宋华平;简基康;王文军;陈小龙
申请日期:
专利授权日期:
2021-01-12
国外申请日期:
国外申请方式:
缴费情况:
实施情况:
专利摘要:
其它备注: