中科院物理所微加工实验室

内容提要：物质在纳米尺度下可能呈现出与体材料完全不同的物理特性，这正是当今纳米科技发展的基础之一。在探索纳米尺度下材料物理性质的变化规律及可能的应用领域过程中，离不开相应的技术手段。微纳米加工技术作为目前高技术发展的重要技术领域之一，是实现功能人工结构与器件微纳米化的基础。本讲座配合2010年秋季微纳米加工设备培训，针对当前几种先进的微纳米加工技术的发展做了一个综合的介绍，并根据不同的应用领域提出了合理选择微纳米加工技术的原则，介绍了微纳米加工技术在物理学及相关学科研究领域应用的最新进展。

主  办：中科院物理所技术部　  联系电话：82649831