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国家重大科学仪器设备开发专项“新型光学扫描隧道显微镜的开发和应用”通过技术初步验收
发布时间:2018-07-05文章来源: 科技处

  6月12日,中科院条件保障与财务局在物理所组织召开国家重大科学仪器设备开发专项“新型光学扫描隧道显微镜的开发和应用”项目初步技术验收会议。中科院条财局领导、项目技术验收组专家、项目监理专家以及项目和任务承担单位代表等50余人参加了会议。物理所李明副书记代表项目承担单位,对所有参会领导和专家表示热烈的欢迎和由衷的感谢。
  项目初步技术验收会和测试验收会分别由中科院上海光机所李儒新院士和中科院理化所詹文山研究员主持。会上,项目负责人高鸿钧院士及各任务负责人就项目目标及完成情况、取得成果和关键技术突破等向专家组做了汇报。测试验收专家组组长詹文山研究员现场宣读了现场技术测试结果及意见。经质询、讨论,专家组一致认为该项目全面完成了项目任务书所提出的各项工作,达到了任务书的考核指标要求,同意该项目通过技术初步验收;建议加快新型光学-扫描隧道显微镜的产业化进程,促进我国在精密科学仪器高技术产业的跨越式发展。
  国家重大科学仪器设备开发专项“新型光学扫描隧道显微镜的开发和应用”项目于2013年10月立项,牵头单位是中科院物理所,中科院沈阳科学仪器股份有限公司作为产业化示范单位,项目应用单位是中科院物理所、清华大学、国家纳米中心和中山大学。该项目的目标是研制在超高真空、低温环境中工作的新型光学扫描隧道显微镜(STM)系统,结合了包括超快脉冲激光在内的多种光源和光信号探测手段,可以实现对微观体系的电学激发电学探测、电学激发光学探测、光学激发电学探测以及光学激发光学探测等丰富多样的研究手段,很大程度上拓展了传统扫描隧道显微镜系统的功能和研究应用领域。目标仪器的研制需要攻克包括专用STM扫描头、光学调整台等核心关键部件,并完成四套系统的研制。在合作单位开展物理、化学、材料、器件等多个领域的前沿研究,以期取得突破性研究进展。
  项目经过四年多的实施,圆满完成了项目目标及各项考核指标,突破了多项关键技术,完成了专用光学扫描隧道显微镜扫描头、光学调整台、直接加热型蒸发源、电子束加热型蒸发源、烘烤控制器等核心部件的自主研制,开发了仪器操作软件与数据处理软件。成功研制达到国际同类产品技术水平、具有自主知识产权核心技术的1台光学-扫描隧道显微镜原型样机和4台光学-扫描隧道显微镜定型样机。研制部分核心部件已经推向市场,形成650万元的销售额。仪器整机有效考核时间为1582.8台时,平均故障间隔时间1067.7小时。核心部件光学调整台有效考核时间为2571台时,平均故障间隔时间2135.4小时;核心部件专用STM扫描头有效考核时间为2449.5台时,平均故障间隔时间2034.5小时;研制的仪器实现了不同领域的成功应用,性能稳定可靠。仪器在光信号的有效引入和探测、高精密紧凑型扫描探头、整体控制技术等方面具有明显的创新性,在凝聚态物理等基础研究领域方面和拉低国外同类产品售价方面发挥了重要作用。同时,项目的实施也培养了一批仪器研制和扫描隧道显微镜研究人才。


初步技术验收会场


中科院条财局副局长曹凝介绍初步验要求和专家组


李明副书记代表承担单位致辞


初步技术验收专家组长李儒新院士主持验收会


项目负责人高鸿钧院士介绍项目总体完成情况


初步验收测试专家组长詹文山研究员介绍现场测试结果


研制的新型光学扫描隧道显微镜定型样机


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