用于超导量子比特制备的除胶装置及其超导量子比特制备装置
专利名称:
用于超导量子比特制备的除胶装置及其超导量子比特制备装置
英文名称:
专利号:
专利类别:
实用新型
专利证书号:
申请号:
2021204775141
第一发明人:
宿非凡
其它发明人:
杨钊华;任育锋;田野;赵士平
申请日期:
专利授权日期:
2021-12-28
国外申请日期:
国外申请方式:
缴费情况:
实施情况:
专利摘要:
其它备注: