中关村论坛 308
题目: 纳米加工技术在基础科学研究中的应用
时间: 2017年08月31日 10:00
地点: 中科院物理研究所M楼236报告厅
报告人: 陈宜方 教授

报告人简介
    陈宜方,凝聚态物理学博士(牛津大学,1995年),教授,博导。现任复旦大学微纳科技平台副主任、复旦大学信息学院微纳系统中心副主任、英国国家物理实验室(National Physical Laboratory)高级客座研究员(2014-2019),英国Liverpool John Moores 大学校外顾问(External Advisor),Scientific Report杂志编委,Elsevier出版社Microelectronics Engineering (MEE)杂志亚太主编。自1990年起长期致力于以电子束光刻为核心的纳米加工与应用的前沿工作。应用研究领域涵盖:纳米电子学、光学超材料/超表面材料、X射线光学部件、红外偏振探测器、强激光靶和真空离子源等。他是长江学者和科技部专项评审专家;曾担任2013和2014年EIPBN国际会议(美国华盛顿)程序委员会成员,2014年(日本福冈)和2015年(美国Napar)NNT国际会议(日本京都)委员会成员,2015-2017年MNC国际会议纳米电子分会主席或程序委员会委员。

报告摘要:
纳米加工技术的兴起与发展极大的推动了各个科学领域的基础研究。复旦大学针对国家在自上而下的纳米光刻与制造技术上的落后现状,响应当前纳米科学技术的发展需求,瞄准国际先进水平和未来发展趋势,充分利用“复旦大学微纳科技平台”拥有的国际先进的、完整的现代化加工设备和条件,建立起了具有国际水平的纳米加工工艺基础。目前正在将这个工艺技术应用到纳米电子、纳米光子学(包括可见光波段的超材料、超表面材料、超分辨聚焦、光场调控、纳米仿生学)和X射线光学部件的研制等领域,取得了一定的成果。这个报告将首先向大家汇报复旦大学在自上而下的纳米加工技术研发上的进展,然后将通过几个典型的应用案例来阐述纳米加工技术在基础研究中的应用和重要性。其中,在纳米电子学领域,将简要介绍在太赫兹波InP基高电子迁移率晶体管(InP-HEMTs)、硅纳米线光电器件和红外偏振探测器的纳米加工与表征;在超表面材料方面,将介绍采用纳米结构进行高效率光场调控、局域表面等离子体结构色及其在高分辨率彩色印刷中的应用;在超分辨聚焦方面,将介绍基于光子纳米喷射效应(Nanojet effect)的超分辨透镜研制、在纳米仿生学方面,将介绍蝴蝶翅膀多层结构(Lamellae layer)的研制及其光学结构色表征和研究、在X射线光学部件的研制方面,将介绍我们在衍射光学部件(菲涅尔波带片、均匀辐照的汇聚透镜、分辨率测试卡)关键技术的研发。希望通过这个交流,能够进一步增进双方的交流、建立起更广泛的交流与合作,进一步扩展纳米加工技术在各个学科领域的应用。

邀 请 人: 李俊杰 (电话:8264 9097 )
联 系 人: 胡  颖 (电话:8264 9361 )